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激光退火装置

特点
FPD用激光退火装置
- 日本国产高功率的准分子激光振荡器
- 搭载使用寿命长,脉冲能量稳定性高的本公司产激光振荡器。配合独有的光学系统,实现了稳定的加工表面光洁。
- 高运转率
- 本公司采用独有的TWIN方式解决了准分子激光维修频率高,装置?;奔涑さ奈侍?。依靠双激光&双腔体系统,操作与维护可以同时进行,以减少?;奔?。
- 支持体制
- 依靠激光振荡器、包含光学系统的所有环节的日本国产化,可实现总系统的持续支持。另外,依靠采用拉杆维修结构,相比贝塞尔切换方式可大幅削减维护成本。
半导体用激光退火装置
- 脉冲能量稳定性高
- 具备能量反馈功能。面内均一性达到σ≦1%。
- 双脉冲控制
- 依靠独有的双脉冲过程,控制纵向温度分布与时间。即使在温度限制下也可以实现高温退火过程。
产品阵容
液晶用准分子激光退火装置![]() |
追求??榛腅LA系列采用了本公司生产的激光与光学系统??砂凑湛突枨筇峁┳詈侠硐低?。 |
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半导体用固体激光退火装置![]() |
是对应双脉冲工艺的高性能固体激光退火装置。将促进下一代工艺开发。 |
有关产品的详细信息
产品相关咨询
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