激光退火装置

特点

FPD用激光退火装置

日本国产高功率的准分子激光振荡器

搭载使用寿命长，脉冲能量稳定性高的本公司产激光振荡器。配合独有的光学系统，实现了稳定的加工表面光洁。

高运转率

本公司采用独有的TWIN方式解决了准分子激光维修频率高，装置?；奔涑さ奈侍?。依靠双激光＆双腔体系统，操作与维护可以同时进行，以减少?；奔?。

支持体制

依靠激光振荡器、包含光学系统的所有环节的日本国产化，可实现总系统的持续支持。另外，依靠采用拉杆维修结构，相比贝塞尔切换方式可大幅削减维护成本。

半导体用激光退火装置

产品阵容

液晶用准分子激光退火装置	追求?？榛腅LA系列采用了本公司生产的激光与光学系统?？砂凑湛突枨筇峁┳詈侠硐低?。
半导体用固体激光退火装置	是对应双脉冲工艺的高性能固体激光退火装置。将促进下一代工艺开发。