运动控制器

实现了制造装置高精密化、高响应化的机电一体化事业部的控制器（高性能控制器/高精度驱动器/无铁芯线性电机）

机电一体化事业部的控制器已经达到纳米水平的精确定位技术，被广泛应用于各种类型的以超精密、高精密度为要求的加工机械的控制系统之中，包括半导体制造装置、液晶制造设备和精密机械加工中心等。以独有的控制PF为基础，可以灵活应对广大客户的半定制需求，有利于提高各类制造装置的性能。

特点

MC 78，高速的伺服处理器，是与设备最匹配的可以嵌入控制算法的高性能控制器。通过伺服驱动SD系列和位置测量信号处理单元PP 78等的组合，实现全数字接口的多轴控制系统的完全同步操控。

SDLN系列是超高性能伺服驱动器，使纳米级高精密线性行为能够和高输出PWM操作自动切换，配备超精密领域开发的线性放大器。SDPH系列是以中、大功率为对象开发的PWM动作类型的高性能伺服驱动程序。通过高速开关元件和高精度电流反馈电路的内置，使速度更高更稳定，在短时间定位等方面发挥了很大的作用。

这种线性电机凭借自主开发的I型线圈形式在抑制侧向力发生的同时，通过优化磁电路、线圈配置的设计、高精度的组装来尽量减少推力纹波，从而完成高精度的扫描动作。

采用自主开发的控制算法和空气轴承，实现空气驱动下的高速、高精度定位及高精度负载控制。
通过空气驱动，既清洁无尘，也不会发热。使用空气轴承，可以消除润滑脂涂布等，大幅度提高其维护性能。

运动控制器MP 78 （多轴控制器） ※ 新商品预定近期发布	保留了MC78的高性能，通过多轴包装实现驱动主体的紧凑化。配线单元最多可以应对36轴。
运动控制器 MP – SERVO （4轴驱动器内置控制器）	最适合对加工速度有一定要求的需要数控加工机、半导体制造装置等特点的伺服控制系统
伺服驱动器 SDPI （OEM驱动器）	脉冲串输入型驱动器，不仅可以用于AC伺服电机，也适用于单轴驱动器的线性电机。
空气促动器 AIRSONIC 25N／300N／700N	小型、轻量化的高精度空气促动器。对应大推力的300 N和700 N系列产品